Windows.SetFileAttributes('Путь к файлу', атрибут);

Возможные атрибуты:

• faReadOnly
• faHidden
• faSysFile
• faVolumeID
• faDirectory
• faArchive
• faAnyFile

Например, чтобы сделать файл скрытым:

Windows.SetFileAttributes('c:\test.txt', faHidden);